• 半导体制造:气浮平台精度达50nm,满足晶圆测试、光刻技术等超精密需求。• 精密装配:XYZ直线电机平台实现光学元件亚微米级对位,保障光轴一致性。 公司支持全方位客制化设计,根据设备规格、负载能力及驱动方式等参数提供个性化方案,涵盖十字滑台、龙门式工作台等多轴组合。