直驱电机在光刻系统应用越来越广泛
精密光刻系统主要用于假冒伪劣产品的防伪处理，各种假冒伪劣产品越来越多，防伪技术的要求也越来越高， 一般的电机再加上一套变换机构与组成的直线运动装置已经不能满足现代光刻控制系统的要求。
CCTL直线电机生产中心一角
另一方面，直驱电机的快速响应能力和精度等方面都有着普通驱动机构难以匹敌的优势，直驱电机也称为直线电机，它所以直线电机驱动在精密光刻系统中广泛应用。直线电机结构简单、反应速度快、灵敏度高、随动性好及寿命长的特点。它使用的光栅尺分辨率可达到0.1μm，不仅提高了光刻的速度，而且使光刻的精度达也大大提高。
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