XYZ双驱直线电机平台
XYZ双驱直线电机平台
1)直线电机平台爲双驱龙门式结构，共六轴，下轴定义爲Y1＆Y2轴，横轴定义为Y轴，横梁定义爲X轴，垂直轴定义爲Z轴，旋转轴定义为U轴，ACS控制。
2)Z轴使用线性模块，规格爲KL100-L20-S200-BD-Y400W,配光栅尺。大理石为00级
长宽高：1350*1102*153mm(标准为1350*1102*150mm)
左右立柱高:370mm(标准为370mm)
XYZ双驱直线电机平台技术参数
|
|
Y轴 | X轴 |
Z轴 |
U轴 |
| 类型 | 直线电机 | 直线电机 | 线性横线 | DD马达 |
|
有效行程 |
550mm |
750mm |
200mm |
|
| 最高速度 |
0.8m/s |
0.8m/s |
0.5mm/s |
|
|
最大加速度 |
10m/s^2 |
10m/s^2 |
3m/s^2 |
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|
重复定位精度 |
±0.3μm |
±0.5μm
|
±3μm |
0.5m/s |
|
光柵尺分辨率 |
0.5μm |
0.5μm |
1μm |
|
XYZ双驱直线电机平台各运动部分运动灵活、平稳、可靠、无卡滞现象，无异常噪音，高速无明显震动，低速无爬行现象
XYZ双驱直线电机平台应用
激光行业：激光切割、激光雕刻、激光打标
半导体行业：晶圆检测与探测、半导体固晶机、半导体金线焊线机、集成块检测与探测、高速取放与传送设备等
尊敬的客户，为保障您的项目成功率，以及您的利益，请尽量让我们配合你们选型，因为您最了解您的项目要求，而我们最了解我们直线电机的性能，所以两者结合才能确保选型无误，您可以在线客户联络我们为您选型。
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