直线电机动定子（无铁芯）

应用说明：
直接驱动，刚性高，定位精度高达±0.1μm
零齿槽力，高速度，实现单轴多动子，行程无限制
应用于激光检测、扫描、光刻、晶圆探针、精密机床等超高精密度设备。