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气浮导轨结构,零摩擦、通过无铁芯电机进行高推力密度与极致平滑运动, X轴采用回型结构,使负载重心处于运动中心位置,减少由重心偏移带来的影响。Y轴采用开式凹形结构,以两侧与底部大理石面为气浮导轨,同时两侧通过磁预载进行平衡调节,使得支持极致平稳运动。
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平台由1条X轴,2条Y轴组合而成,通过无铁芯电机进行高推力密度与极致平滑运动,X轴采用回型结构,使负载重心处于运动中心位置,减少由重心偏移带来的影响。X轴通过磁预载与真空预压技术提供预紧力,增强抗倾覆能力,结合主动隔振技术进一步抑制地面微震干扰并增强刚性。 气浮平台均为非标定制产品,支持多种结构组合样式如平面式、十字组合、龙门等。
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