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- 平台由1条X轴，2条Y轴组合而成，通过无铁芯电机进行高推力密度与极致平滑运动，X轴采用回型结构，使负载重心处于运动中心位置，减少由重心偏移带来的影响。X轴通过磁预载与真空预压技术提供预紧力，增强抗倾覆能力，结合主动隔振技术进一步抑制地面微震干扰并增强刚性。 气浮平台均为非标定制产品，支持多种结构组合样式如平面式、十字组合、龙门等。
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300nm龙门双驱气浮运动平台
结构特点
平台由1条X轴，2条Y轴组合而成，通过无铁芯电机进行高推力密度与极致平滑运动，X轴采用回型结构，使负载重心处于运动中心位置，减少由重心偏移带来的影响。X轴通过磁预载与真空预压技术提供预紧力，增强抗倾覆能力，结合主动隔振技术进一步抑制地面微震干扰并增强刚性。
气浮平台均为非标定制产品，支持多种结构组合样式如平面式、十字组合、龙门等。
性能特点
①纳米级定位精度：配合高精度编码器与精密结构，实现纳米级重复定位精度与轨迹控制；
②高动态响应：气膜具有高刚度和低阻尼特性，使平台在高速运动时能保持极佳的平稳性与抗扰动能力。
③超高洁净度：运行过程中无油污、无金属粉尘产生，无摩擦、长寿命，仅消耗经过过滤的洁净压缩空气
④抗环境干扰：通过磁预载、真空预压技术、主动(被动)隔振技术等，可有效隔绝地面的低频微震，保证加工或测量的稳定性。
适用领域
半导体制造、光学检测、精密组装测量、航空航天、先进科研实验室等
适用运动场景
半导体芯片处理、晶圆计量检测、光学检测、芯片检测、光刻等
技术参数(案例)
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类型 |
直线电机气浮平台 |
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组合方式 |
龙门双驱组合 |
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轴号 |
X |
Y1/Y2 |
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行程 |
500mm |
500mm |
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安装方式 |
水平 |
水平 |
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负载 |
12kg |
/ |
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动子数量 |
1 |
1 |
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最大速度 |
6mm/s |
6mm/s |
|
最大加速度 |
0.02G |
0.02G |
|
单轴重現精度 |
±0.5um |
±0.5um |
|
单轴定位精度（补偿后） |
±0.3um |
±0.3um |
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单轴直线度 |
≤1.5um |
≤1.5um |
|
行走平行度 |
≤1.5um |
≤1.5um |
|
垂直度 |
XY≤1.5um |
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俯仰角 |
≤2arc sec |
≤2arc sec |
|
偏航角 |
≤2arc sec |
≤2arc sec |
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