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5-1-MP3TH-X-Y-Z-6901D19C
- 气浮导轨结构，零摩擦、通过无铁芯电机进行高推力密度与极致平滑运动， X轴采用回型结构，使负载重心处于运动中心位置，减少由重心偏移带来的影响。Y轴采用开式凹形结构，以两侧与底部大理石面为气浮导轨，同时两侧通过磁预载进行平衡调节，使得支持极致平稳运动。
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直线电机气浮平台
结构特点
气浮导轨结构，零摩擦、通过无铁芯电机进行高推力密度与极致平滑运动， X轴采用回型结构，使负载重心处于运动中心位置，减少由重心偏移带来的影响。Y轴采用开式凹形结构，以两侧与底部大理石面为气浮导轨，同时两侧通过磁预载进行平衡调节，使得支持极致平稳运动。
气浮平台均为非标定制产品，支持多种结构组合样式如平面式、十字组合、龙门等
性能特点
①纳米级定位精度：配合高精度编码器与精密结构，实现纳米级重复定位精度与轨迹控制；
②高动态响应：气膜具有高刚度和低阻尼特性，使平台在高速运动时能保持极佳的平稳性与抗扰动能力。
③超高洁净度：运行过程中无油污、无金属粉尘产生，无摩擦、长寿命，仅消耗经过过滤的洁净压缩空气
④抗环境干扰：通过磁预载、真空预压技术、主动(被动)隔振技术等，可有效隔绝地面的低频微震，保证加工或测量的稳定性。
适用领域
半导体制造、光学检测、精密组装测量、航空航天、先进科研实验室等
适用运动场景
半导体芯片处理、晶圆计量检测、光学检测、芯片检测、光刻等
技术参数(案例)
|
类型 |
直线电机气浮平台 |
||
|
组合方式 |
桥式组合 |
||
|
轴号 |
X |
Y |
Z |
|
行程 |
680mm |
870mm |
50mm |
|
安装方式 |
水平 |
水平 |
垂直 |
|
负载 |
/ |
60kg |
25kg |
|
动子数量 |
1 |
1 |
1 |
|
最大速度 |
300mm/s |
300mm/s |
10mm/s |
|
最大加速度 |
0.5G |
0.5G |
0.5G |
|
单轴重現精度 |
≤1um |
≤1um |
≤1um |
|
单轴定位精度（补偿后） |
≤1.5um |
≤1.5um |
≤1.5um |
|
单轴直线度 |
≤1um |
≤1um |
≤2um |
|
行走平行度 |
≤5um |
≤5um |
≤5um |
|
垂直度 |
XY≤5µm；Z垂直XY平台载物面≤5µm |
||
|
俯仰角 |
≤10arc sec |
≤10arc sec |
≤10arc sec |
|
偏航角 |
≤1.5arc sec |
≤1arc sec |
≤3arc sec |
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