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MP2TX-X-Y-1B01H1-250
- 高阻尼低热膨胀系数
高强度机械结构 -
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直线电机XY十字组合
结构特点
高阻尼低热膨胀系数
高强度机械结构
多种组合形式(单轴/多轴/十字/平行/龙门/桥式······)，支持非标/无尘室
性能特点
非接触式直线电机驱动
高精度光栅编码器反馈
优异的重复精度和定位精度
平滑运动曲线
高频高精高动态性能
运行平稳低抖动低噪音
适用领域
半导体制造、集成电路、面板行业、光伏锂电、3C精密加工、光学检测、精密测量、自动化设备等
适用运动场景
AOI、激光加工、玻璃面板加工、摄像头芯片检测、晶圆检测、PCB激光打孔、FPD检测、轮廓仪、芯片检测等
技术参数(案例)
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类型 |
直线电机十字组合平台 |
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组合方式 |
十字组合 |
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轴号 |
X |
Y |
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行程 |
250mm |
250mm |
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安装方式 |
水平 |
水平 |
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负载 |
8kg |
/ |
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动子数量 |
1 |
1 |
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最大速度 |
300mm/s |
300mm/s |
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最大加速度 |
0.2G |
0.2G |
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单轴重現精度 |
±0.5um |
±0.5um |
|
单轴定位精度（补偿后） |
±2um |
±2um |
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单轴直线度 |
±2um |
±2um |
|
行走平行度 |
±2um |
±2um |
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垂直度 |
XY≤±3um |
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