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MP5TX-X-2Y-2Z-230061
- 高阻尼低热膨胀系数
高强度机械结构 -
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直线电机XY十字组合
结构特点
高阻尼低热膨胀系数
高强度机械结构
多种组合形式(单轴/多轴/十字/平行/龙门/桥式······)，支持非标/无尘室
性能特点
非接触式直线电机驱动
高精度光栅编码器反馈
优异的重复精度和定位精度
平滑运动曲线
高频高精高动态性能
运行平稳低抖动低噪音
适用领域
半导体制造、光学检测、精密测量、自动化设备等
适用运动场景
AOI、激光加工、玻璃面板加工、摄像头芯片检测、晶圆检测、PCB激光打孔、FPD检测、轮廓仪、芯片检测等
技术参数(案例)
|
类型 |
直线电机十字组合平台 |
||
|
组合方式 |
十字组合 |
||
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轴号 |
X(底轴) |
Y1/Y2(上轴) |
Z1/Z2 |
|
行程 |
650mm |
850mm |
50mm |
|
安装方式 |
水平 |
水平 |
垂直 |
|
负载 |
/ |
50kg |
20kg |
|
动子数量 |
2 |
1 |
1 |
|
最大速度 |
1000mm/s |
1000mm/s |
200mm/s |
|
最大加速度 |
1G |
1G |
NA |
|
单轴重复精度 |
±0.75um |
±0.75um |
±5um |
|
定位精度（补偿后） |
±1um |
±1um |
±10um |
|
单轴直线度 |
3um |
3um |
3um |
|
单轴行走平行度 |
6um |
6um |
3um |
|
垂直度 |
XY≤±10um |
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