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DMS-3020-1900Q2
- 高集成度超薄结构
采用高刚性交叉滚子导轨，精度更高 -
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高精度XY3020载物台
结构特点
高集成度超薄结构
采用高刚性交叉滚子导轨，精度更高
性能特点
非接触式直线电机驱动
高精度光栅编码器反馈
优异的重复精度和定位精度
平滑运动曲线
高频高精高动态性能
运行平稳低抖动低噪音
适用领域
光学检测、精密测量、自动化设备等
适用运动场景
AOI、晶圆检测、轮廓仪、芯片检测等
技术参数(案例)
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类型 |
载物台 |
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组合方式 |
十字组合 |
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轴号 |
X |
Y |
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行程 |
275mm |
175mm |
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安装方式 |
水平 |
水平 |
|
负载 |
/ |
5kg |
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动子数量 |
1 |
1 |
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最大速度 |
80mm/s |
80mm/s |
|
最大加速度 |
0.2G |
0.2G |
|
单轴重复精度 |
±1um |
±1um |
|
定位精度（补偿后） |
NA |
NA |
|
单轴直线度 |
≤5um |
≤5um |
|
单轴行走平行度 |
NA |
NA |
|
垂直度 |
XY≤±5um |
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