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精密对位平台TLX系列
- 直驱全闭环机构
体积小、高集成、模块化 -
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TLX系列
结构特点
直驱全闭环机构
体积小、高集成、模块化
性能特点
自研非接触式电机驱动
高精度光栅编码器反馈
高响应、整定时间短
适用领域
半导体制造、集成电路、面板行业、光伏锂电、3C精密加工、光学检测、精密测量、自动化设备等
技术参数
TLX09系列
结构尺寸
参考文件《TLX09对位平台》
性能参数
|
参数 |
X/Y轴 |
单位 |
参数 |
R轴 |
单位 |
|
行程 |
20 |
mm |
行程 |
360(可定制) |
deg |
|
额定推力 |
28 |
N |
额定转矩 |
0.4 |
Nm |
|
峰值推力 |
72.8 |
N |
峰值转矩 |
1.2 |
Nm |
|
额定电流 |
2.1 |
Arms |
额定电流 |
2.1 |
Arms |
|
峰值电流 |
6.3 |
Arms |
峰值电流 |
6.3 |
Arms |
|
分辨率 |
1 |
um |
分辨率 |
23 |
bit |
|
重复精度 |
±1.5 |
um |
重复精度 |
±3 |
Arc-sec |
|
最大电压 |
600 |
Vpeak |
最大电压 |
600 |
Vpeak |
TLX16系列
结构尺寸
参考文件《TLX16对位平台》
性能参数
|
参数 |
X/Y轴 |
单位 |
参数 |
R轴 |
单位 |
|
电机型号 |
JT802S |
/ |
电机型号 |
D16050 |
/ |
|
行程 |
40 |
mm |
行程 |
360(可定制) |
deg |
|
额定推力 |
180 |
N |
额定推力 |
32 |
Nm |
|
峰值推力 |
540 |
N |
峰值推力 |
94 |
Nm |
|
额定电流 |
3 |
Arms |
额定电流 |
3 |
Arms |
|
峰值电流 |
9 |
Arms |
峰值电流 |
9 |
Arms |
|
分辨率 |
1 |
um |
分辨率 |
23 |
bit |
|
电阻p-p |
6.4 |
ohms |
电阻p-p |
15.3 |
ohms |
|
电感p-p |
13.5 |
mH |
电感p-p |
40.2 |
mH |
|
推力常数 |
60 |
N/Arms |
推力常数 |
10.5 |
N/Arms |
|
反电动势常数 |
49.04 |
Vpeak/(m/s) |
反电动势常数 |
8.58 |
Vpeak/(m/s) |
|
电机常数 |
21.76 |
N/vW |
电机常数 |
2.81 |
N/vW |
|
热耗常数 |
1.05 |
W/℃ |
热耗常数 |
1.94 |
W/℃ |
|
磁变周期 |
20 |
mm |
磁变周期 |
40.8 |
mm |
|
重复精度 |
±1.5 |
um |
重复精度 |
±3 |
Arcsec |
|
最大电压 |
600 |
Vdc |
最大电压 |
600 |
Vdc |
|
线圈最高温度 |
100 |
℃ |
线圈最高温度 |
100 |
℃ |
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